“高端装备用系列先进传感器及硅基压力敏感芯片技术”依托传感器国家工程研究中心硅基压力敏感工程化芯片线开展研究，深度融合并优化了压力敏感芯片设计及微纳加工，传感器封装、补偿、筛选，整机可靠性、稳定性提升及工程化应用等全流程、多学科技术与工艺，有效攻克了设计、制造及工程化应用等多项关键核心技术，总体技术达到国际先进水平。相关产品在工业测控、航空、航天、大型装备、能源环保等领域得到广泛应用，技术上发挥了先导作用，保障上实现了自主可控。